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基礎信息Product information

產品名稱:晶圓劃片機、硅片、石英、砷化鎵切割機

產品型號:

更新時間:2024-08-20

產品簡介:

堅融實業——一家致力于為祖國用戶提供晶圓劃片機、硅片、石英、砷化鎵切割機儀器設備、測試方案、技術培訓、維修計量全面服務的儀器設備綜合服務商。

產品特性Product characteristics

專業儀器設備與測試方案供應商——上海堅融實業有限公司JETYOO INDUSTRIAL & 堅友(上海)測量儀器有限公司JETYOO INSTRUMENTS,為原安捷倫Agilent【現是德KEYSIGHT】品牌技術經理-堅JET與吉時利KEITHLEY【現泰克Tektronix】品牌產品經理-融YOO于2011年共同創辦,專注工業測試領域十六年,志在破舊立新!*進口儀器設備大多數廠家僅在國內設銷售點,但技術支持薄弱甚至沒有,而代理經銷商也只做商務,不做售前技術支持/測試方案和售后使用培訓/維修校準的空白。我們的技術型銷售均為本科以上學歷,且均有10年以上測試行業經驗,以我們*進*的經營理念,與客戶互惠互利合作雙贏,重在協助用戶采購與技術工程師的工作,提供較有競爭力的供應鏈管理與售前售后技術支持。堅融實業——一家致力于為祖國用戶提供儀器設備、測試方案、技術培訓、維修計量全面服務的儀器設備綜合服務商。


公司生產的6英寸系列,8英寸系列,10英寸系列、12英寸雙軸系列、12英寸雙軸全自動系列晶圓劃片機、硅片、石英、砷化鎵切割機是綜合了水氣電、高速主軸、精密機械傳動、傳感器及自動化控制等技術的精密數控設備。主要用于硅集成電路,發光二極管,鈮酸鋰,壓電陶瓷,砷化鎵,藍寶石,氧化鋁,氧化鐵,石英,玻璃,陶瓷,專注于硅片、鈮酸鋰、藍寶石、PCB板、太陽能電池片等材料的劃切加工。實現了晶圓從裝片、對準、切割、清洗到卸片的自動化操作。配置了大功率對向式雙主軸,Z1和Z2軸上都配置了NCS和專用顯微鏡,大幅度減少對準和檢查時間,從而降低人工成本、提高生產效率。


應用領域:IC、光學光電、通訊、LED封裝、QFN封裝、DFN封裝、BGA封裝

可精密切割材料:硅片、鈮酸鋰、陶瓷、玻璃、石英、氧化鋁、PCB板


特點:

切割清洗一體化;

標配非接觸測高功能(NCS);

選配刀痕檢測功能;

選配刀片破損檢測功能(BBD);

選配工件形狀檢測功能;

選配數據掃描錄入功能;



設備工作流程:

1.下取物臂將待切割材料從晶片盒中取出,將待切割材料放置到預校準臺進行預校準,再送到工作盤上,進行劃片作業。

2. 上取物臂從工作盤將切割完成的材料移動到清洗盤上,進行二流體清洗和晶片干燥。

3 .下取物臂將切割完成的材料放回預校準臺進行預校準,再推回晶片盒中。



使用條件:

1. 請將機器設在20~25℃的環境中(波動范圍控制在±1℃以內);室內濕度40%~60%,保持恒定,無凝結。

2. 請使用大氣壓露點在-15℃以下,殘余油份為0.1ppm,過濾度在0.01um/99.5以上的清潔壓縮空氣。

3. 請將切削水的水溫控制為室溫+2℃(波動范圍在±1℃以內),冷卻水的水溫控制為與室溫相同(波動范圍控制在±1℃以內)。

4. 請避免設備受到重力撞擊以及外界任何振動威脅。另外,請不要將設備裝在鼓風機、通風口、產生高溫的裝置以及產生油污的裝置附近。

5.請把本設備安裝在有防水性地板以及有排水處理的場所。

6.請嚴格按照本公司產品使用說明書進行操作。


晶圓劃片機、硅片、石英、砷化鎵切割機規格參數指標

配置與性能加工尺寸mmφ12"∣□275
切槽深度mm≦4mm或定制
主軸轉速范圍min-?6000~60000
額定輸出功率KW直流.2.4at60000min-?
X軸有效行程mm310
速度設定范圍mm/s0.1~1000
Y軸有效行程mm310
運動分辨率mm0.0001
單一定位精度mm≦0.002/5
全程定位精度mm0.005/310
Z軸有效行程mm40
最大適用刀片mmφ58
行程分辨率mm0.00005
重復定位精度mm0.001
θ軸轉角范圍deg380
基礎規格電源kVA7.0(三相,AC380V)
耗電量(參考值)kw
壓縮空氣Mpa
L/min
0.5~0.6
最大消耗量550
切削水Mpa
L/min
0.2﹣0.3
最大消耗量9.0
冷卻水Mpa
L/min
0.2﹣0.3
最大消耗量3.0
排風量m2/min800
尺寸W*D*Hmm1200*1550*1800
重量kg2000


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